江苏英特神斯科技有限公司MEMS软件 MEMS工艺 MEMS设计加工

20世纪90年代IntelliSense公司就推出了专业MEMS设计软件IntelliSuite, 供客户做各类MEMS器件的设计研发,包括版图设计,工艺设计仿真,器件级多物理场耦合分析,以及系统级MEMS-IC联合仿真。我们专业的MEMS设计软件配之强大的设计团队以及一条专业MEMS生产线,可以为客户提供各类MEMS惯性器件芯片,RFMEMS器件芯片,MEMS传感器执行器芯片以及微流控芯片的设计加工一站式解决方案。  查看更多>>

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IMT与北京大学微纳电子学研究院深入合作推动MEMS工艺技术持续发展

IMT与北京大学微纳电子学研究院深入合作推动MEMS工艺技术持续发展,美国加利福尼亚州圣巴巴拉市及中国北京,2016年...


X-FAB扩大晶圆厂服务 囊括8英寸MEMS工艺

X-FAB Silicon Foundries,业界领先的模拟/混合信号晶圆厂及“超越摩尔定律”技术的专家,近日宣布其将扩大自身的晶圆厂服务,囊括8英寸(200毫米)MEMS芯片工艺。...


基于MEMS工艺在硅衬底上制备微电极结构实现免疫检测

本文在MEMS工艺制备的电流型免疫传感器基础上,利用SU-8胶和PDMS等材料搭建微流体系统,设 计和制备了微反应室以及微进出样沟道,进行了生物敏感膜固化过程的可控性技术及方法研究方面的探索,是提高免疫微传感器检测一致性及稳定性方法研究的关键 内容之一,对日益微型化的免疫生物传感器的研制有着重要的研究意义和实用价值。通过fluent软件的模拟,对不同结构下微流体所产生的密度、速度和压力 分布给敏感膜固化和免疫检测所带来的影响进行了分析和比较,并做出了结构上的优化和选择。...


上海先进打造国内MEMS工艺生产平台

 “上海先进”(ASMC/上海先进半导体制造股份有限公司)在MEMS(微机电系统)代工领域取得重大进展,在打造国内MEMS工艺生产平台的同时首条MEMS工艺生产线已进入量产。...


国内首条MEMS工艺生产线进入量产

“上海先进”在MEMS(微机电系统)代工领域取得重大进展,在打造国内MEMS工艺生产平台的同时首条MEMS工艺生产线已进入量产。...