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高密度3D MEMS光路交换机构建下一代软件定义网络
日期:2012-09-21 01:50:16 点击:311 好评:0
关键词: MEMS,交换机,CALIENT

S320的核心是MEMS光路交换模块320 (MSM320),该模块可将320路光纤信号从任何输入端口交换到任何输出端口。该模块拥有不到25毫秒的切换时间,提供冗余控制处理器。...


Silex Microsystems Receives VINNOVA Grant to Develop Magnetic MEMS Technology for Next-Generation Sma
日期:2012-09-20 12:01:35 点击:213 好评:0
关键词: Silex Micros,MEMS,VINNOVA

Silex Microsystems, the world’s largest pure-play MEMS foundry, today announced that it has been awarded a nearly 3 million Swedish Kronor research grant from VINNOVA, the Swedish Governmental Agency for Innovation Systems, to develop cutting-edge ferromagnetic materials for use in MEMS devices powering next-generation smart phone applications. ...


Silex Microsystems Receives VINNOVA Grant to Expand Volume Production Capabilities for MEMS-based Gas
日期:2012-09-20 11:59:26 点击:235 好评:0
关键词: Silex Micros,MEMS

Silex Microsystems, the world’s largest pure-play MEMS foundry, today announced that VINNOVA, the Swedish Governmental Agency for Innovation Systems, has awarded a nearly 10M SEK grant towards a 30M SEK program to a consortium of 10 Swedish companies to advance high-tech manufacturing of MEMS-based gas sensing systems in Sweden – the global center of excellence for gas sensors....


EVG发表新一代EVG150自动化光阻制程系统 为高产能涂布/显影应用提供理想平台
日期:2012-09-20 11:47:25 点击:287 好评:0
关键词: EVG,EVG150,光阻制程系统

全新设计的全自动化模块系统,结合杰出无可匹敌的喷雾式涂布技术, 适用于 MEMS 、化合物半导体与先进封装等产业 ...


记录和指导运动的智能运动腕带--Nike+FuelBand
日期:2012-08-10 01:13:35 点击:1177 好评:0
关键词: 意法半导体,MEMS,传感器

FuelBand腕带通过意法半导体的高性能3轴加速度计跟踪用户的动作,例如跑步、行走、跳舞以及各种日常活动。区分简单的手势和主动式运动离不开的复杂的信号处理功能。...


应用材料公司推出Applied Vantage Vulcan快速热处理(RTP)系统
日期:2012-03-19 11:20:00 点击:285 好评:0
关键词: 应用材料,RTP

应用材料公司宣布推出Applied Vantage Vulcan快速热处理(RTP)系统,推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术,将退火工艺的精确性和控制性提高到了一个新的水平,为芯片制造商减少了可变性并大幅提高了其高价值高性能器件生产的成品率。...


ADI发布业界具有最低杂讯的MEMS麦克风ADMP 504
日期:2012-02-16 16:45:00 点击:226 好评:0
关键词: MEMS,ADI,ADMP504

全球信号处理应用高性能半导体领导厂商Analog Devices, Inc.(ADI)发布业界具有最低杂讯的MEMS麦克风 -- 高性能的ADMP 504。...


启用下一代MEMS器件与金属共晶键合
日期:2012-02-13 21:34:57 点击:127 好评:0
关键词: MEMS,金属共晶键合

Microelectrical-mechanical systems (MEMS) devices have experienced impressive and steady growth as they are integrated into people’s everyday lives. Since their conceptualization in the 1970’s, they have progressed from laboratory curiosity to integration in high-end systems, and, more recently, to widespread application in popular consumer devices....


最新的3D集成和MEMS晶圆级接合金属技术
日期:2012-02-13 21:31:43 点击:141 好评:0
关键词: 3D集成,MEMS,晶圆

Wafer level bonding utilizing metal based technologies are coming to the forefront of manufacturing methods in numerous 3D integration schemes and advanced MEMS processing. Copper to copper bonding of TSVs (through silicon vias) is used for 3D IC stacking of individual layers as well as in 3D packaging operations. A primary differentiator is the via size and therefore the placement accuracy needed to obtain production yields. ...


SUSS MicroTec推出XBC300 Gen2 - 永久晶圆片键合、键合分离和清洗的新平台
日期:2012-02-13 20:19:54 点击:284 好评:0
关键词: SUSS MicroTe,XBC300 Gen2,晶圆片键合,键合分离

全球知名的半导体行业及相关市场工艺解决方案提供商SUSS MicroTec,推出XBC300 Gen2高产量加工制造平台,用于先进的三维工艺技术。新的键合设备可以用于200mm和300mm晶圆片的永久性晶圆键合、键合分离、清洗,以适应产品 生产工艺的发展。...


应用材料公司CENTRIS ADVANTEDGE MESA刻蚀系统
日期:2012-02-05 21:49:31 点击:195 好评:0
关键词: 应用材料,刻蚀系统

Centris AdvantEdge Mesa是应用材料公司最先进的刻蚀系统,能够为22纳米及更小技术节点的先进逻辑和存储芯片的成功制造提供所需要的精密度、智能化和生产力。结合应用材料公司领先业界的AdvantEdge Mesa刻蚀反应腔技术,Centris系统能够制造纳米级电路,并使每个硅片的一致性达到埃(10-10米)米级。这一能力对于实现芯片规模生产的高良率来说是必需的。...


纳米加工设备市场2014年可达904亿美元规模
日期:2012-02-02 21:56:52 点击:108 好评:0
关键词: 纳米加工设备,Innovative

根据市场研究机构Innovative Research and Products的预测,纳米加工设备(nanofabrication equipment)市场在2009~2014年间,将以10.4%的年复合成长率(CAGR)扩充至904亿美元的规模。同时期半导体晶圆片 (semiconductor wafers)市场则将以14%的CAGR,成长到206亿美元的规模。 ...


中国纳米压印光刻技术及其发展现状
日期:2012-02-02 14:00:07 点击:369 好评:0
关键词: 纳米压印技术

由于经济原因促使半导体业朝着不断缩小特征尺寸方向发展,随之而来的技术进步导致了设备的成本以指数增长。由于成本的增长,人们对纳米压印光刻这一低成本图形转移技术的关注越来越多。通过避免使用昂贵的光源和投影光学系统,纳米压印光刻比传统光刻方法大大降低了成本。...


193纳米微影设备抢购战,台系厂商成输家
日期:2012-02-02 12:04:11 点击:94 好评:0
关键词: 微影设备

93纳米浸润式微影设备出现缺货与交期延长的现象,供应商ASML的状况最严重,其次为Nikon。几乎大部分的内存与逻辑芯片大厂、还有晶圆代工业者,都无法取得足够的微影设备来因应先进制程需求。...


爱普科斯推出全球最小MEMS麦克风
日期:2012-02-02 11:27:52 点击:125 好评:0
关键词: MEMS,麦克风

爱普科斯推出了一款商用MEMS麦克风,成为迄今全球最小的、集成了数字界面的麦克风。爱普科斯(EPCOS)T4030的尺寸仅为3.25×2.25×1.1mm3,比同类产品小60%。这使手机、MP3和数码相机等消费电子产品能实现更加紧凑的设计。 ...


MEMS设备市场将快速增长,封测设备是主线
日期:2012-02-02 11:21:09 点击:203 好评:0
关键词: MEMS

依据MEMS产品分类,现以运动产品感测加速度计比重为62.2%,其余为光学MEMS。以感测加速度计为例,目前主要的测试机台以日本LAPOLE和德? 烨ulti为主,每台要价新台币2,500万~3,000万元,价格不斐。...


全球MEMS设备市场迅猛增长 松下进军医用微电子机械系统市场
日期:2012-02-02 11:12:23 点击:227 好评:0
关键词: MEMS,松下

据日本媒体报道,日本松下公司(Panasonic)即将进军医用微电子机械系统(MEMS)市场,并计划最早在今年开发出MEMS传感器并推向市场。...


上海先进打造国内MEMS工艺生产平台
日期:2012-02-01 13:24:23 点击:182 好评:0
关键词: MEMS,三轴陀螺仪,加速度计,生物MEMS芯片,光学MEMS,RF MEMS,微流体开关,压力传感器

 “上海先进”(ASMC/上海先进半导体制造股份有限公司)在MEMS(微机电系统)代工领域取得重大进展,在打造国内MEMS工艺生产平台的同时首条MEMS工艺生产线已进入量产。...


用于先进MEMS、三维堆叠的高性能晶圆片键合机
日期:2012-01-31 21:43:21 点击:393 好评:0
关键词: MEMS,晶圆片,键合机

在MEMS制程平台的选择上,随着MEMS跨入大众消费性电子市场,未来对于成本与产量的掌握将成为业者竞争优势;Si制程具有低成本、产能丰富、相关支援产业完整,加上CMOS MEMS有可能进一步与IC整合为单一晶片,故仍将被应用于大众市场的MEMS产品主要制程选择。...


新兴的MEMS键合技术、设备供应商和键合工艺的成本因素
日期:2012-01-31 21:18:35 点击:311 好评:0
关键词: MEMS,晶圆键合技

MEMS Investor Journal(以下简称MIJ)最近就应用于MEMS的键合技术的发展趋势话题采访了EV Group的MEMS商业发展经理Eric Pabo。在本次采访中,Eric讨论了晶圆键合历史、新兴的MEMS键合技术、设备供应商和键合工艺的成本因素。...






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