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MEMS加工-MEMS制造技术

时间:2012-02-12 17:20:42来源:MEMSweekly 作者:IOTer 点击:
微机械加工是MEMS以及微光机电系统的关键技术。微机械加工可分为体微机械加工和表面微机械加工两种类型。体微加工技术是指利用蚀刻工艺对块状硅进行准三维机构的微加工,分为蚀刻和停止蚀刻两项关键技术。表面加工技术不蚀刻掉大部分的硅材料,而是在硅片上采用不同的蚀刻和薄膜淀积方法,在硅表面上形成较薄的结构。
微机械加工是MEMS以及微光机电系统的关键技术。微机械加工可分为体微机械加工和表面微机械加工两种类型。体微加工技术是指利用蚀刻工艺对块状硅进行准三维机构的微加工,分为蚀刻和停止蚀刻两项关键技术。表面加工技术不蚀刻掉大部分的硅材料,而是在硅片上采用不同的蚀刻和薄膜淀积方法,在硅表面上形成较薄的结构。蚀刻技术的主要代表为牺牲层技术(表面微机械加工以硅片微基体,通过多层膜淀积和图形加工制备三维微机械结构。硅片本身不被加工,器件的结构部分由淀积的薄膜层加工而成,结构与基体之间的空隙应用牺牲层技术)。主要薄膜淀积技术有蒸镀、溅射、化学气相淀积等,主要蚀刻方法是选择性湿法蚀刻和干法等离子蚀刻。

    全球共有250家MEMS器件生产企业,产品主要用于满足自身终端消费电子产品的需要。MEMS应用领域非常广泛,单个细分市场规模很窄,一家公司以几亿美元规模就能占据1至2个产品龙头地位。例如,德州仪器占据DLP市场,惠普占据打印机喷墨头市场,安华高科技占据滤波器市场,ADI、ST、飞思卡尔和美新占据加速度计市场,楼氏占据麦克风市场。为了降低成本、垄断市场,国际大公司都加大了8英寸MEMS生产线的建设。意法半导体2006年将MEMS生产线升级到8英寸,欧姆龙、飞思卡尔也开始筹建8英寸生产线。

    国内MEMS加工产业还处于导入期,北京青鸟元芯及无锡美新半导体占据领先地位。青鸟元芯依托北京大学微电子研究院,成为国内第一家批量生产MEMS微型传感器的高新技术企业,月产MEMS传感器达10万只。无锡美新半导体是全球第一家使用标准CMOS工艺、单芯片上集成混合信号处理的热对流MEMS惯性传感器公司;设计生产能力为1500万片/月,加速计产品500万片/月,在无锡第二家CMOS-MEMS工厂已经投产,每月可生产1000万个加速计。但不可否认,国内MEMS制造商的平均生产能力较弱,多数仍采用4到 5英寸的中低端生产线。青鸟元芯就是利用早期从福特公司买来一条二手生产线制造MEMS传感器。

    无锡近邻苏州有昆山传感器产业基地。该基地作为我国唯一生产传感器的国家级产业基地,形成了以自主知识产权的硅压阻式MEMS传感器和变送器为核心的产业链,拥有总投资18亿元的30家传感器生产企业。 (责任编辑:ioter)
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