织梦CMS - 轻松建站从此开始!

物联网在线

当前位置: 物联网在线 > 传感器 > MEMS > MEMS应用 >

基于MEMS技术的静电传感器

时间:2013-07-10 00:18:54来源:物联网在线 作者:日经电子 点击:
传感器部分安装有借助悬臂悬浮的微小电极。带静电荷的物体靠近传感器后,微小电极的电位就会发生变化,根据这一变化就能测出静电容量。试制的传感器部分的尺寸约为数mm见方,可轻松实
日本产业技术综合研究所开发出了基于MEMS(微电子机械系统)技术的静电传感器,并在“日本Nano Micro Business展”(东京有明国际会展中心,7月5日闭幕)上进行了展示。 

传感器部分安装有借助悬臂悬浮的微小电极。带静电荷的物体靠近传感器后,微小电极的电位就会发生变化,根据这一变化就能测出静电容量。试制的传感器部分的尺寸约为数mm见方,可轻松实现阵列化。使用实现了阵列化的传感器,还能测量静电的表面分布。 

为了准确测量,需要振动悬臂,使静电容量发生周期性变化。悬臂利用PZT的致动器驱动。试制器件在200mm的晶圆上形成,PZT用溶胶-凝胶法成膜。(记者:三宅 常之,Tech-On!) 

(责任编辑:Ioter)
织梦二维码生成器
顶一下
(0)
0%
踩一下
(0)
0%
------分隔线----------------------------
发表评论
请自觉遵守互联网相关的政策法规,严禁发布色情、暴力、反动的言论。
评价:
表情:
用户名: 验证码:点击我更换图片
发布者资料
zxh007 查看详细资料 发送留言 加为好友 用户等级:高级会员 注册时间:1970-01-01 08:01 最后登录:2019-05-30 16:05
栏目列表
推荐内容